上證報中國(guó)證券網訊 近日，中瓷電子發(fā)布投資者關系活動記錄表顯示，2023年，公司精密陶瓷零部件的銷售收入呈現增長(cháng)态勢。目前，公司已開(kāi)發(fā)了精密陶瓷零部件用氧化鋁、氮化鋁核心材料和配套的金屬化體系，建立了完善的精密陶瓷零部件制造工藝平台，開(kāi)發(fā)的陶瓷加熱盤産品核心技術指标已達到國(guó)際同類産品水平并通過(guò)用戶驗證，實現了關鍵零部件的研發(fā)生産，已批量應用于國(guó)産半導體關鍵設備中。

中瓷電子表示，公司精密陶瓷零部件采用氧化鋁、氮化鋁等先進(jìn)陶瓷經(jīng)精密加工後(hòu)制備的半導體設備用核心零部件，具有高強度、耐腐蝕、高精度等優異性能(néng)，應用于刻蝕機、塗膠顯影機、光刻機、離子注入機等半導體關鍵設備中。（韓峰）